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标题: 无尘室的划分和测试 [打印本页]

作者: yanwenhui 时间: 2004-11-23 17:37
标题: 无尘室的划分和测试
無塵室喇叭PC-5CL、PC-3CL乃是符合JIS清潔度等級1之標準，其所指為何？
● TOA PC-3CL、PC-5CL無塵室用喇叭乃是符合無塵室JIS清潔度等級1之標準。首先我們就無塵室之定義、聯邦規
● 格等級及JIS等級作一簡單之說明。

●無塵室（CLEAN ROOM）之定義
● 『將空氣中之塵埃、壓力、溫度、溼度、氣流分布之情形及速度，控制於一定範圍內之空間』。此處所指之塵
● 埃為肉眼無法看見的灰塵及微粒子(μm)，且指一般空氣清淨機無法完全清除之灰塵。
● 無塵室一般分為電子、精密工業用Industrial Clean Room（＝ICR）；及需控制微生物濃度等製藥、食品產業用
● Biological Clean Room（＝BCR）。

●聯邦規格（U.S. Federal standard 209b）等級
● 現今一般多奉行美國所制定的聯邦規格（U.S. Federal standard 209b）, BCR則多參考明定生物粒子限制值的
● NASA規格（美國航空總署 5340.2規格）。
● 其Fed.std清潔度的表示法為：<st1:chmetcnv w:st="on" UnitName="ft3" SourceValue="1" HasSpace="False" Negative="False" NumberType="1" TCSC="0">1ft3</st1:chmetcnv>（立方英尺）空氣中, 含有多少個0.5μ（micro）以上的微粒子, 及稱為「等級
● ○○」。例如：空氣中含有10個0.5μ（micro）以下時, 標示為「等級10」。而自然界大氣中通常含有300,000～
● 3,000,000個微粒子。

●在JIS標準下，無塵室之清潔度，共分為8個等級。
● 一般清潔度是指空氣的清潔等級，分為等級1、2…….8，8階段。在1立方公尺的空氣中，粒徑0.1微米(1微米=
● 千分之1毫米)之塵埃有多少，是以10的乘方表示。亦即是1立方公尺中，0.1微米的灰塵若是在10個以下時為等
● 級1；百個以下是100=102是等級2；千個以下時是1000=103等級3，以此類推。

◣清潔度等級的上限濃度(個/m3) 
 

<TABLE cellSpacing=0 cellPadding=0 width="100%" border=0>

<TR >
<TD >
<TABLE cellSpacing=0 cellPadding=0 width=479 border=1>

<TR >
<TD vAlign=top width=38>
 </TD>
<TD width=42>
Fed. std等級 </TD>
<TD width=71 colSpan=2>
－ </TD>
<TD width=36>
等級1 </TD>
<TD width=41>
等級10 </TD>
<TD width=55>
等級100 </TD>
<TD width=43>
等級1000 </TD>
<TD width=50>
等級10000 </TD>
<TD width=57>
等級100000 </TD></TR>
<TR >
<TD width=38>
 </TD>
<TD width=42>
JIS等級 </TD>
<TD width=33>
等級1 </TD>
<TD width=33>
等級2 </TD>
<TD width=36>
等級3 </TD>
<TD width=41>
等級4 </TD>
<TD width=55>
等級5 </TD>
<TD width=43>
等級6 </TD>
<TD width=50>
等級7 </TD>
<TD width=57>
等級8 </TD></TR>
<TR >
<TD width=38 rowSpan=6>
粒徑（μｍ） </TD>
<TD width=42>
0.1 </TD>
<TD width=33>
101 </TD>
<TD width=33>
102 </TD>
<TD width=36>
103 </TD>
<TD width=41>
104 </TD>
<TD width=55>
105 </TD>
<TD width=43>
106 </TD>
<TD width=50>
107 </TD>
<TD width=57>
108 </TD></TR>
<TR >
<TD width=42>
0.2 </TD>
<TD width=33>
2 </TD>
<TD width=33>
24 </TD>
<TD width=36>
236 </TD>
<TD width=41>
2360 </TD>
<TD width=55>
23600 </TD>
<TD width=43>
- </TD>
<TD width=50>
- </TD>
<TD width=57>
- </TD></TR>
<TR >
<TD width=42>
0.3 </TD>
<TD width=33>
1 </TD>
<TD width=33>
10 </TD>
<TD width=36>
101 </TD>
<TD width=41>
1010 </TD>
<TD width=55>
10100 </TD>
<TD width=43>
101000 </TD>
<TD width=50>
1010000 </TD>
<TD width=57>
10100000 </TD></TR>
<TR >
<TD width=42>
0.5 </TD>
<TD width=33>
(0.35) </TD>
<TD width=33>
(3.5) </TD>
<TD width=36>
35 </TD>
<TD width=41>
350 </TD>
<TD width=55>
3500 </TD>
<TD width=43>
35000 </TD>
<TD width=50>
350000 </TD>
<TD width=57>
3500000 </TD></TR>
<TR >
<TD width=42>
5.0 </TD>
<TD width=33>
- </TD>
<TD width=33>
- </TD>
<TD width=36>
- </TD>
<TD width=41>
- </TD>
<TD width=55>
29 </TD>
<TD width=43>
290 </TD>
<TD width=50>
2900 </TD>
<TD width=57>
29000 </TD></TR>
<TR >
<TD vAlign=top width=42>
清潔度等級、粒徑範圍 </TD>
<TD width=71 colSpan=2>
0.1～0.3 </TD>
<TD width=82 colSpan=2>
0.1～0.5 </TD>
<TD width=55>
0.1～0.5 </TD>
<TD width=155 colSpan=3>
0.3～0.5 </TD></TR></TABLE>
</TD></TR></TABLE>
 

<TABLE cellSpacing=0 cellPadding=0 width="100%" border=0>

<TR >
<TD >
邁向21世紀，最先端產業的發展，加速了產業構造的變革，無塵室設立之必要性也相對地提高。商品日漸的小型和精密化，塵埃和溫濕度的變化對商品的完成度亦造成極大的危害，導致品質低下。伴隨商品的高品質要求，環境無塵化的需求也日益提高。因此在無塵室中使用防塵材料及商品都顯得格外重要。
TOA無塵室用喇叭PC-3CL、PC-5CL是經過嚴格的測試完全符合無塵室JIS清潔度等級1之標準。</TD></TR></TABLE>

作者: yanwenhui 时间: 2004-11-23 17:37
<A>壓力量測</A>
一、說明 壓力量測的目的是確認無塵室空調系統的壓力設定。無塵室內維持相當的正壓以維持潔淨度，這已經是個 common sense，在209的舊版本中，正壓有建議值，但是後來就取消了。目前常見的正壓值約是10到25 Pascal之間。 壓力量測的時機，應該是在風速、風量、平行度等與氣流直接相關的測試結束之後立即量測，尤其不可在潔淨度量測完畢之後才量測壓力。因為如果壓力不對，要立刻調整以免影響潔淨度。量測時，所有門窗都必須關上，所有的風扇也必須維持正常運轉。 二、測試儀器： 壓力量測可使用傾斜管壓力計，指針式壓力計，或是電子式壓力計，總之只要量測範圍與精確度滿足要求即可。壓力計之精確度要求為讀數的 ±5%，量測範圍式壓力設計值而定，一般0~<st1:chmetcnv w:st="on" UnitName="mm" SourceValue="5" HasSpace="False" Negative="False" NumberType="1" TCSC="0">5mm</st1:chmetcnv> Aq （0–50 Pascal）即可涵蓋室內外壓力差之量測。儀器需經校正合格且仍在有效期限內之才可以使用，檢測前及交附報告時均須檢附合格之校正文件。 三、測試步驟： 1. 必須在風速、風量、氣流等測試完成後，才能測試壓力，並且排氣與MAU要完全正常運轉。 2. 全部門與開口都要關閉。室外大氣壓力假設為 0.0mmAq 錶壓力。 3. 測定潔淨區域與相鄰較次級潔淨區域之壓差，再量測房間與Gowning room之間壓差，最後量測Gowning room與外部之壓差。 4. 建議壓差值為5~12Pa，並無強制規定。 5. 記錄所有數值。 四、驗收標準： 無塵室室內外壓差之驗收標準是由業主所指定。 五、使用發煙管：壓力量測的目的是確認氣流可以依照設計的方向移動。若是沒有規定壓力值，只需確認流向正確，或是在不方便量測的區域，可考慮使用發煙管檢視空氣流向，但是需要業主同意。發煙管在空調系統測試調整時，是非常方便可靠的工具之一。，雖然不提供數值，但是可以確認氣流流向、，也可檢視洩漏，並且隨著煙霧的移動，可確認洩漏位置或縮小檢查範圍。無塵室完整性測試 另一個與壓力有關的測試是空間的完整性測試，完整性測試的英文原文是Integrity Test， Integrity 有完好無缺的意思，像濾網的洩漏測試，有些人就稱之為 Filter's Integrity Test。

完整性測試的做法是在無塵室外〈如走廊、或是隔壁等級較差之處〉施放微粒，然後在室內牆版接縫處用微粒計數器掃描，檢查有無洩漏。但是隨著無塵室研究數據日益充實，專家發現只要維持適當正壓，污染微粒經由已經打上矽膠的牆縫侵入的機率微乎其微，因此現在都不做完整性測試。微粒雖然比較不會由牆縫入侵，但是會從配線的開口滲入，這點必須注意。

作者: yanwenhui 时间: 2004-11-23 17:39
有兴趣的话可以和我交流半导体，广电厂的控制系统的心得

作者: chosen 时间: 2004-11-24 09:46
赞一个,经常做洁净室的项目,有时间多指教

作者: 老忘 时间: 2004-11-27 18:18
不错，希望有时间交流

作者: 木木-_-b 时间: 2004-11-27 18:53
路过

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